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In-line 蒸镀设备

应用场景:应用于汽车尾灯、照明等PMOLED面板、WOLED面板、光伏钙钛矿电池量产


产品应用

                                                                                                                                     


– 各种基板尺寸

– Inline Type

– 标准化

– 模块化

– 成膜均匀性高

– 运营稳定



技术优势

                                                                                                                                     


– 定制化产品,可配置点源或线源

– 具备Auto PID,蒸镀稳定,成膜均匀

– 产品成熟,运行稳定(MTFR≥720小时)



产品参数
In-line 蒸镀设备 规格参数
基板 Up to G8.5
生产节拍 60秒 (区分镀层)
生产时间 ≥144小时
膜厚均匀性:有机材料 ≤2% (片内);≤2%(片间)
膜厚均匀性:金属材料 ≤3% (片内);≤2%(片间)
速率稳定性(0.01Å/s- 3Å/s)有机材料 Host:≤±2%,@1.0Å/s
速率稳定性(0.01Å/s- 3Å/s)Dopant ≤±3%,@0.01Å/s
速率稳定性(0.01Å/s- 3Å/s)金属材料 ≤±2%,@1.0Å/s;≤±3%,@0.01Å/s
对位 ≤±50μm(机械对位)
系统控制 控制系统PLC,PC (GUI S/W)
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