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硅片视觉检查AVIS


产品特点

                                                                                                                                     


– 功能可选模块化设计

– 紧凑型封口

– 高洁净度、高可靠性、高精度

– 提供系统定制

– 传输振动抑制控制

– 视觉检测运动控制


核心技术

                                                                                                                                     


– 通信接口适配技术

– Dual-Arm控制技术

– 晶圆Mapping技术

– 晶圆360°旋转控制

– 晶圆表面光源检测

– 简易化运维管理平台







产品参数
硅片视觉检查AVIS 规格参数
晶圆尺寸 300mm
尺寸(mm) 3436(W)*1850(D)*2180(H)
节拍时间 Min. 90 WPH ( Wafer inspection time : 15 sec. / per side)
系统结构 Transfer Robot , Inspection Robot , Flip Unit , LPM , Open Cassette , FFU , Halogen、Lamp , lonizer , etc
搬运机器人&检测机器人重复定位精度 Within ± 0.1mm
搬运机器人活动范围 伸展:1215mm, Rotation: 330 deg, Up/Down: 480mm
检测机器人活动范围 X , Y , Z Axis : 300mm , Yaw Axis : -90~90 deg , Tilt : -50~80deg,Wafer rotation :360 deg(CW , CCW)
碘钩灯 YP-250I/YAMADA KOKAKU
洁净等级 Class 1 , ULPA Filter
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