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自动装载卸料解决方案


产品特点

                                                                                                                                     


– 气流计算技术

– 高洁净度净化设计技术

– 机械刚度计算技术

– 设备故障自诊断

– 设备远程控制

– 信息数据管理技术



核心技术

                                                                                                                                     


– 可满足客户定制需求

– 蒸镀模拟技术

– 温度及压力控制技术

– PID控制技术

– Log分析技术

– 高精密对位补偿算法



产品参数
自动装载卸料解决方案 规格参数
适用产品 G5~G10.5
定位精度 ±1mm
洁净等级 Class 10
Up Time ≥2000h
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